北方华创IC高端装备添新秀

双双进产线 北方动物世界华创IC高端装备添新秀

本报讯（记者田艳军）12月5日，由北方华创下属子公司北方华创微电子自主研发的12英寸原子层沉积(Atomic Layer Deposition，ALD)设备进驻上海集成电路研发中心无锡在线资讯网站。北方华创微电子为国产高端装备在先进集成电路芯片生产线的应用再添新秀。

AL陕西中际医院治疗效果好吗D设备是先进集成电路制造工艺中必不可少的薄膜沉积设备，ALD工艺具有工艺温度低、薄情感倾诉膜厚度控制精确及台阶覆盖率高等优点。在集成电路特征线宽发展到28纳米节点后，ALD工艺应用日益广泛。北方华创微电子自2014年开始布局ALD设备的开发计划，历时四年，成功推出应用于集成电路领域的量产型单片ALD设备Polaris A630，应用于沉积集成电路器件中的高介电常数和金属栅极薄膜材料，设备的核心技术指标达到国际先进水平。

此次，北方华创微电子Polaris A630 ALD设备8-14纳米工艺制程，扩展了国产高端装备在集成电路先进制程的配套应用范围。